三星LG柔性屏新突破 新技术增加使用寿命

三星显示器公司与LG Display准备在柔性OLED薄膜封装过程中采用ALD（原子层沉积）技术，两家公司已经与合作伙伴合作，在内部采购并验证ALD设备。如果采用ALD技术，就可以更好保护有机材料，减少氧、水的影响，从而提高柔性OLED面板的寿命和性能。

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2016-9-26 09:46 上传

据产业人士透露，三星显示器和LG Display正准备在柔性OLED生产流程中采用ALD技术。Jusung Engineering、WONIK IPS、AP System和TES拥有ALD技术和设备。LG Display已经完成对ALD的研究，准备将它用于柔性OLED生产；三星显示器也在加速部署ALD技术。

两家公司完成了ALD技术的研发，它们正在考虑实际引入ALD的可能性，因为它们正在向柔性OLED生产设施投资。企业的研发已经完成，开始进入商用阶段。

OLED是有机材料，它存在缺陷，比如，OLED对水和氧的防护比较弱。为了保护OLED，制造商会在OLED之上铺上许多层的薄膜，减少水和氧的侵蚀。具体铺多少层？不同的制造商有不同的标准，一般而言，制造企业会用一种名叫“Vitex”的方法在OLED之上铺盖有机薄膜和无机薄膜，交叠进行，各自3-5层。

在无机薄膜封装过程中，企业一般使用PECVD（等离子体增强化学汽相沉积）、溅射、ALD技术；如果是有机薄膜沉淀，使用的是Kateeva的喷墨打印技术。为了生成无机薄膜，三星和LG采用PECVD技术。

为什么两家企业现在才考虑用ALD技术替代PECVD？因为寿命和性能对于柔性OLED来说越来越重要。另外，柔性OLED屏幕的生产力下降，需求增长也是一个问题。

ALD技术是CVD（化学蒸汽沉积）技术的一种，它交替喷射原材料（包括ALD金属和反应气体）从而形成原子薄膜层。MLD技术（分子层沉积）可以形成有机材料分子层，两者结合就可以形成多层屏障，保护OLED，使之免受水和氧的侵蚀，即使在低温下也可以形成。

在屏幕生产过程中引进ALD技术有一些优势，例如，它可以减少杂质，形成厚度相同的薄膜。ALD技术可以涂上高质量薄膜层，保护效果明显增强。如果无机薄膜的厚度不同（只有几纳米的差别），层层叠加，总薄膜厚度、渗水率就会受到影响。除此之外，与现有的CVD方法相比，ALD技术还可以采用各种不同的薄膜，这也是它的一个优势。

半导体产业追求精细工艺，ALD成为它们追捧的对象。不过显示屏产业一直对ALD保持犹豫态度，因为它的成本比PECVD高，大面积使用也存在一定的问题，沉积速度不够快。最近一段时间问题已经部分解决，正因如此ALD才会真正投入使用。

一名产业代表称：“虽然ALD和PECVD不可同日而语，但是ALD的沉积速度比PECVD慢了大约10倍。因为沉积速度慢，生产效率也很低，大面积应用有困难，这些都是主要的障碍，之所以真正引进ALD技术，主是是考虑到它可以形成更薄的高质量薄膜。”